涡轮分子泵HiPace® 1200-2300

  普发分子泵 HiPace   1200-2300系列涡轮分子泵可以倒装安装，经过实践证明的轴承技术确保了其**的可靠性。

   成熟精湛的转子设计使其具有更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体

   具有更高的压缩比。集成可靠的智能传感器系统，HiPace系统当仁不让的成为市场上安全性能**的

    产品。

            普发分子泵 产品优势：

                       从1000-2000L/S提供四个抽速等级

                       对于小分子量气体（H2 He），和大分子量气体（Ar、CF4）都有很高的抽速

                  即便对大分子量气体（Ar，CF4)也有很高的气流量

                  安装角度可选0°-90°和90°-180°

                  有抗腐蚀性气体型号可选（C型号）

                  带节流阀和阀门的集成净化气体系统

                  电压范围：90-265V

                  界面接口：RS-485，远程控制；Profibus和DeviceNet可选

                  获得SEMI S2，UL,CSA和TUV认证

                   防护等级IP54符合工业环境应用要求

                  **可能的符合各种工艺流程，能够忍受颗粒物

           普发分子泵应用领域：

                   半导体

                   真空炉

                   质朴分析

                   镀膜、研发

                   工业检漏

           普发分子泵 系列型号：                   HiPaceTM 1200                  HiPaceTM 1500                  HiPaceTM 1800                  HiPaceTM  2300

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