园区洁净棚室内的温湿度怎样控制？洁净棚内的温湿度有专门的设备进行控制，来保持在人体适宜的温湿度环境之下，这个不用担心，就算长时间在洁净棚内工作的话，也没有任意身体不适的风险。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确认，但在达到工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度。空气洁净度要求的严格，大部分企业对温湿度的要求也越来越严的趋势。湿度过高产生的问题会很多，相对湿度过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在电路中，就会引起事故。相对湿度在50%时易生锈。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。 园区洁净棚具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越仔细，所以对温度波动范围的要求越来越小。
