全自动等离子清洗机又名在线真空等离子清洗机。它的工作原理是在真空下, 然后利用交流电场使工艺气体成为等离子体, 并与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质, 由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去, 从而使工件达到表面清洁活化。等离子清洗是剥离式清洗, 等离子清洗的特点是清洗之后对环境无污染。在线式真空等离子清洗设备是在成熟的等离子体清洗工艺技术和设备制造基础上, 增加上下料、物料传输等自动化功能。针对IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗, 大大提高粘接及键合强度等性能的同时, 避免人为因素长时间接触引线框架而导致的二次污染以及腔体式批量清洗时间长有可能造成的芯片损伤。针对汽车零部件，体积大，搬运不灵活设计，减少搬运环节，降低人员工作强度。 在线式等离子清洗机的主要结构包括:上下料推料机构、上下料置取料平台、上下料提升系统、上下料传输系统、上下料拨料机构、反应仓、设备主体框架和电气控制系统等。 等离子体：等离子体是由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成的正离子和电子密度大致相等的电离气体, 整体呈电中性。 清洗原理：等离子清洗是利用等离
